激光发生器
晶圆衬底
空白光罩掩模基板
产品优势
经过20余年技术研发及工艺探索，公司熔石英技术水平已经达到国内领先，多数产品指标达到国际先进水平，尤其紫外光学石英玻璃的光学非均匀性指标为国内同行业中首家可以达到2以内（1.985×10-6）以内的企业，在现有产品的非均匀性指标稳定性可维持在4之内。
a.国内首创立式单灯集成沉积装置，集成原料预处理、反应合成和石英生长三大模块
b.超精准燃烧管控和液态物蒸发创造了恒定的流场，确保高纯度
c.优异的燃烧器热场匹配先进的沉积炉温场，形成最佳的合成界面和产品截面
d.先进的自动化控制的适应生长获得轴向一致性及轴对称性
e.通过精密槽沉热成型抑制横向延展后的缺陷分布和改善二次缺陷
f.自主研发多级精密退火工艺减少了应力影响
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纯高度
耐腐蚀 -
软化温度高
耐热性强 -
热膨胀系数低
抗热冲击 -
光透过率高
吸收峰窄
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